| О компании |
| Оборудование |
| Контакты |
ООО РИИС изготавливает следующие приборы для измерения параметров полупроводниковых материалов:
- выислительно-измерительный комплекс для измерения удельного электрического сопротивления монокристаллов и пластин полупроводниковых материалов, поверхностного электросопротивления эпитаксиальных, диффузионных и ионно-имплантированных слоев полупроводниковых материалов четырехзондовым методом ВИК-УЭС (аналог установок типа «Рометр» и «ИУС»);
- установка для измерения сопротивления растекания однозондовым методом для определения профилей распределения легирующей примеси ВИК-УЭС СР;
- аппаратно-программный комплекс для измерения рекомбинационного времени жизни свободных носителей заряда по спаду фотопроводимости бесконтактным СВЧ методом ;
- определитель типа электропроводности полупроводниковых материалов по принципу термозонда «ОТЕП»;
- определение удельного и поверхностного электросопротивления бесконтактным СВЧ методом.
Принимаются заказы на изготовление автоматизированных средств измерения парамтеров полупроводниковых материалов и приборов.
Установка нового поколения для измерения удельного электрического сопротивления монокристаллов и пластин полупроводниковых материалов, поверхностного электросопротивления эпитаксиальных, диффузионных и ионно-имплантированных слоев полупроводниковых материалов четырехзондовым методом ВИК-УЭС
Автоматизированная установка «Вычмслительно-измерительный комплекс для измерения удельного электросопротивления ВИК-УЭС» предназначена для измерения удельного электрического сопротивления (УЭС) полупроводникового кремния в виде слитков, шайб и пластин, поверхностного электросопротивления эпитаксиальных, диффузионных и ионно-имплантированных слоев (аналог ИУС) четырехзондовым методом. Установка предназначается для научных исследований и для производственного контроля кремниевой продукции.
Установка может быть использована для измерения УЭС других полупроводниковых материалов.
При разработке программного обеспечения установки ВИК-УЭС учитывались требования международных стандартов SEMI(ASTM):
-стандарт ASTM F84 «Стандартный метод измерения удельного электрического сопротивления кремниевых пластин с использованием четырехзондового устройства с линейным расположением зондов»;
- стандарт ASTM F1527 «Стандартное руководство по применению кремниевых стандартных эталонных материалов и эталонных пластин для калибровки и контроля аппаратуры для измерения удельного электрического сопротивления кремния».
- стандарт ASTM F-374 «Стандартный метод измерения поверхностного сопротивления кремниевых эпитаксиальных диффузионных и ионно-имплантированных слоев 4-х зондовым методом» .
Электронный блок ВИК-УЭС обеспечивает автоматический выбор величины измеряемого тока в зависимости от номинала измеряемого сопротивления по ГОСТ 24392-80, измерение при двух полярностях измерительного тока, введение поправок на толщину, диаметр и положение измерительной головки на пластине при расчете удельного электросопротивления.
Установка поставляется в следующих исполнениях:
1)Установка для измерения карт распределения электросопротивления пластин с автоматизированным манипулятором, для измерения пластин до 150 мм ВИК УЭС А150
2)Установка для измерения карт распределения электросопротивления пластин с автоматизированным манипулятором, для измерения пластин до 350 мм ВИК УЭС А350
анипулятор установки ВИК УЭС А350
3) установка с ручным манипулятором для измерения распределения электросопротивления на пластинах до 200 мм;
Внешний вид установки с механическим манипулятором
4) Установка для измерения электросопротивления пластин и слитков с ручным манипулятором без прецизионного позиционирования;
5) Электронный блок с возможностью подключения ручного манипулятора заказчика ( в том числе от установок типа «ИУС».
Установки с автоматизированными манипуляторами снабжаются выносной измерительной головкой для измерения слитков.
Основные технические характеристики ВИК-УЭС А
№ п/п |
Параметр, единица измерения |
значение |
1 |
измеряемое сопротивление, Ом |
10-3 - 200000 |
2 |
измерительный ток, А |
2. 10-7 - 10 -1 |
3 |
УЭС однородных образцов, Ом см |
10-4 - 80000 |
4 |
поверхностное электрическое сопротивление, Ом |
10-2 - 106 |
5 |
диаметр пластин, мм |
20 - 300 |
6 |
толщина пластин, мкм |
до 20000 |
7 |
минимальный шаг зонда по радиусу, мкм |
12,5 |
8 |
минимальный угол поворота, рад (град) |
0,0157 (0,9) |
9 |
точность установки зонда в центре пластины, мм. |
0,2 |
10 |
время единичного измерения, с |
3 |
Программное обеспечение установки позволяет проводить в автоматическом режиме:
- проверку точности и работоспособности электрической части установки с помощью аналоговой схемы;
- расчет удельного электрического сопротивления с учетом поправок на толщину и диаметр измеряемой пластины, а также температуру измерения в соответствии со стандартами ГОСТ 24392-80, ASTM F-43-94, ASTM F-84, ASTM F-81, ASTM F-1527, ASTM F 374. Результаты измерений фиксируются на бумажном носителе и в памяти ЭВМ.
- обработку результатов измерений для накопления статистической информации;
- проверку работоспособности электрической части установки по внутреннему эквиваленту;
- автоматическую настройку электрической части установки по внешней
аналоговой схеме.
построение карты распределения УЭС по образцу;
расчет профиля распределения концентрации по глубине слоя;
управление автоматизированным манипулятором;
расчет толщины металлического покрытия.
Гарантийный срок службы установки 3 года.